真空泵中真空泵油不僅作為獲得真空的介質(zhì)，還對機械摩擦點起潤滑、冷卻和密封作用。

　　真空泵油由于要求真空度很高，一般用石蠟基窄餾分潤滑油，對于擴散真空泵，還可使用蒸氣壓很低的硅油或其他合成油。

　　真空泵腔內(nèi)容積不斷變化而形成排氣作用，要求潤滑油應(yīng)具有合適的粘度和粘溫特性。

　　真空泵不斷向高速度發(fā)展，由于滑片和泵體的高速摩擦使油溫升高，油品很容易氧化分解，尤其擴散泵往往處于很高的溫度環(huán)境下工作，使系統(tǒng)內(nèi)蒸氣壓升高，真空度降低，因此要求真空泵油具有良好的熱氧化安定性。

　　真空泵吸入的如果是腐蝕性氣體，會與油發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，腐蝕泵內(nèi)零件；吸入空氣中往往含有水汽冷凝水，引起真空泵油的乳化并使金屬腐蝕，所以要求具有良好的抗腐蝕和抗乳化性。

　　主要要求真空泵中不攜帶輕質(zhì)組分，以免影響油品的飽和蒸氣壓。

　　極限壓力是真空泵油重要的使用性能指標(biāo)以了解在低真空極限壓力下真空泵的極限壓力。

　　真空泵油應(yīng)用在工業(yè)上的一些要求：

　　快速達(dá)到極限直空也是一些特定應(yīng)用場合提出的要求，一般通過抽氣速率和可靠性來衡量這一使用性能。流水線上使用的真空泵油一般要求比較苛刻，因它受達(dá)到真空的速度、使用壽命、使用環(huán)境、使用氣體、高溫高壓、頻繁大氣狀態(tài)等不可知因素的影響太大，為此使用ISO、DVE、DVF的真空油品比較合適。運動粘度應(yīng)選擇在VG32、46、68范圍。

　　如彩管行業(yè)中顯象管蒸鋁小車流水線運行一圈共為5分鐘。從裝顯像管到直聯(lián)式旋片泵抽真空1分鐘內(nèi)全壓力必須達(dá)到＜5*10-4kPa；再直接啟動高真空擴散泵至10-2-10-3Pa后開始蒸發(fā)鍍鋁；結(jié)束后再卸顯像管；周而復(fù)始。每一環(huán)節(jié)如不能達(dá)到相應(yīng)指標(biāo)就會影響下一道工序。

　　直聯(lián)式真空泵全壓力進(jìn)入5*10-4kPa一般是能夠做到的，但在1分鐘要達(dá)到指標(biāo)，就需對真空泵及真空泵油品的抽氣速率和可靠性會提出更高的要求。